中国科学技术大学国家同步辐射实验室导师介绍： 刘颖

　　姓名： 刘颖
　　性别：女
　　出生年月：1972年9月
　　职称：副研究员
　　学院：国家同步辐射实验室
　　研究方向：　软X射线-真空紫外光学 衍射光学 微制作技术　
　　
　　个人详细信息

　　1.个人学习、工作及研究经历1990-1994 长春光学精密机械学院 理学学士1994-1996 中科院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室1996-2001 中科院长春光学精密机械研究所 理学博士毕业2001-至今 中国科学技术大学国家同步辐射实验室2009-2010 德国弗雷德里希•席勒 耶拿大学(Friedrich Schiller University Jena．应用物理研究所 中科院公派访问学者

　　2.主要研究方向　软X射线-真空紫外光学 衍射光学 微制作技术

　　3.代表性科研成果期刊文章
　　1．　Shengnan He, Ying Liu*, Jingtao Zhu, Haochuan Li, Qiushi Huang, Hongjun Zhou, Tonglin Huo, Zhanshan Wang, and Shaojun Fu, "SiC/W/Ir multilayer-coated grating for enhanced efficiency in 50–100 nm wavelength range in Seya–Namioka mount," Opt. Lett. 36(2．, 163-165 (2011．.

　　2．　Shengnan He, Ying Liu*, Keqiang Qiu, Hongjun Zhou, Tonglin Huo, and Shaojun Fu, “Efficiency measurement of optical components in 45-110 nm range at beamline U27, HLS,” Chin. Opt. Lett. 8(12．, 1131-1134 (2010．.

　　3．　Ying Liu*, Hans-Jörg Fuchs, Zhengkun Liu, Huoyao Chen, Shengnan He, Shaojun Fu, Ernst-Bernhard Kley, and Andreas Tünnermann, “Investigation on the properties of a laminar grating as a soft x-ray beam splitter,” Appl. Opt. 49(23．, 4450-4459 (2010．.

　　4．　Ying Liu*, Xin Tan, Zhengkun Liu, Xiangdong Xu, Yilin Hong, and Shaojun Fu*, “Soft X-ray holographic grating beam splitter including a double frequency grating for interferometer pre-alignment,” Opt. Express 16(19．, 14761-14770 (2008．.

　　5．　Xudi Wang*, Ying Liu, Xiangdong Xu, Shaojun Fu*, and Zheng Cui, “Reactive ion beam etching of HfO2 film and removal of sidewall redeposition,” J. Vac. Sci. Technol. A 24(4．, 1067-1072 (2006

 

　　授权发明专利：

 

　　1．　X射线全息衍射光栅分束器, 授权号 ZL 200810024295.0.

　　2．　光栅离子束刻蚀的光学在线检测装置及检测方法,授权号 ZL 200710020220.0.

　　3．　位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法,发明专利，授权号 ZL 200810021578.x.

　　4．　具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置, 授权号 ZL 200810025255.8.